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常見覆蓋層測量的*測量范圍

更新時間：2020-05-19      瀏覽次數(shù)：2647

 

表A.1   常見覆蓋層測量的*測量范圍

  • 覆蓋層
  • 基體
  • 近似厚度范圍

μm

in

鋁

銅

0~100.0

0~0.004

鎘

鐵

0~60.0

0~0.0024

銅

鋁

0~30.0

0~0.0012

銅

鐵

0~30.0

0~0.0012

銅

塑料

0~30.0

0~0.0012

金

陶瓷

0~8.0

0~0.00032

金

銅和鎳

0~8.0

0~0.00032

鉛

銅和鎳

0~15.0

0~0.0006

鎳

鋁

0~30.0

0~0.0012

鎳

陶瓷

0~30.0

0~0.0012

鎳

銅

0~30.0

0~0.0012

鎳

鐵

0~30.0

0~0.0012

鈀

鎳

0~40.0

0~0.0016

鈀-鎳合金

鎳

0~20.0

0~0.0008

鉑

鈦

0~7.0

0~0.00028

銠

銅或鎳

0~50.0

0~0.0020

銀

銅或鎳

0~50.0

0~0.002

錫

鋁

0~60.0

0~0.0024

錫

銅或鎳

0~60.0

0~0.0024

錫-鉛合金

銅或鎳

0~40.0

0~0.0016

鋅

鐵

0~40.0

0~0.0016

 

注1：在整個范圍內(nèi)測量不確定度不是恒定的，而且靠近每個范圍兩端會增大。

注2：所給定的范圍是近似的，而且主要取決于可接受的測量不確定度。

注3：如果同時測量表層和中間層，由于熒光X射線光束的各種相互作用，即表層會吸收中間層的熒光，那么各覆蓋層材料可測厚度范圍會發(fā)生變化，例如測量在銅上的金和鎳時，若金覆蓋層厚度超過2.0微米，則無足夠的熒光保證鎳層高精度測量。

注4：當進行厚度大于0微米（如銅或鎳上的金：±0.005微米）覆蓋層厚度測量過程中，測量不確定度。這就必須了解測量范圍的下線。

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